Am 28. Oktober wurde die Empfehlung des Zentralkomitees zur Entwicklung des 15. Fünfjahresplans für die wirtschaftliche und soziale Entwicklung des Landes offiziell veröffentlicht. Im Abschnitt "Beschleunigung der wissenschaftlichen und technologischen Selbststärkung auf hohem Niveau" wird in der Empfehlung deutlich vorgeschlagen, dass das neue nationale System verbessert werden muss, außergewöhnliche Maßnahmen ergriffen werden, um die gesamte Kette zu fördern, um entscheidende Durchbrüche in Schlüsselbereichen wie integrierte Schaltungen und High-End-Instrumente zu erzielen. Dieser Einsatz hat nicht nur die strategische Höhe der integrierten Schaltungsindustrie wiederhergestellt, sondern auch die Schlüsselrolle von High-End-Instrumenten bei der Sicherheit der nationalen Industriekette betont.

1. Reaktion auf den politischen Aufruf, zukünftige Layout Halbleiter inländische Ersatz

In den letzten Jahren hat das Land eine Reihe von Politiken eingeführt, um die innovative Entwicklung der gesamten Industriekette von integrierten Schaltkreisen und die autonome Kontrollkapazität zu verbessern. Als börsennotiertes Unternehmen für inländische Gassensoren und High-End-wissenschaftliche Instrumente hat Quadrant Optoelectronics Co., Ltd. (im Folgenden "Quadrant Optoelectronics") und seine Tochtergesellschaft Quadrant Optoelectronics (Wuhan) Instruments Co., Ltd. (im Folgenden "Quadrant Instruments") aktiv auf den Aufruf der nationalen Politik reagiert, basierend auf der tiefen technischen Ansammlung und scharfen Einblicken in der Industrie im Bereich der Gaserfassung, der zukunftsweisenden Layout im Bereich der Präzisionsherstellung von Halbleitern, ein vollständiges Technologie- und Entwicklungssystem aufgebaut, insbesondere in Infrarot (NDIR), Zirconiumoxid und anderen Sensorprinzipien, die von Kernsensoren bis hin zu High-End-Analyseinrichtungen verfügen.

Angesichts der extrem strengen Überwachungsanforderungen an die Gasumgebung in der Halbleiterherstellung hat die Quadrat-Fotoelektronik-kontinuierliche Technologie festgelegt, ausländische Monopole gebrochen, eine Reihe innovativer Produkte wie Infrarot-Gassensoren und Spuren-Sauerstoffanalysatoren selbständig geforscht und entwickelt, um die Kernschmerzen der Industrie präzise zu lösen und eine solide und zuverlässige inländische technische Unterstützung für die qualitativ hochwertige Entwicklung der chinesischen Halbleiterindustrie zu bieten.

II. Fokus auf Kerntechnologien, um innovative Produkte direkt auf die Schmerzpunkte der Industrie zu treffen

01. Infrarot-Gassensor: Präzise Bestimmung der sauberen Endpunkte und Förderung der grünen Fertigung

Im Prozess der Dünnfilmabscheidung (CVD/ALD) ist die Kammerreinigung ein entscheidender Schritt zur Gewährleistung der Prozessstabilität. Traditionelle auf Erfahrungszeit basierende Kontrollmethoden neigen oft zu übermäßigen Reinigungsstrategien, um eine unvollständige Reinigung zu vermeiden, was zu einer großen Verschwendung von teuren Prozessgasen wie NF3 führt.

Der Infrarot-Gassensor Gasboard-2060, der von Quadrat Photoelectric vorgestellt wurde, trifft diesen Schmerzpunkt direkt. Durch die präzise Echtzeit-Überwachung der Konzentrationsänderungen von Nebenprodukten wie SiF4 während des Reinigungsprozesses kann der Reinigungsendpunkt präzise und intelligent bestimmt werden. Dies hilft den Kunden, die Betriebskosten effektiv zu senken und gleichzeitig die grüne Fertigung umzusetzen.

Spuren Sauerstoff-Analyzer: Genauigkeit von 0,1 ppm, um die Prozessumgebung rein zu halten

In der Halbleiterherstellung ist Sauerstoffverschmutzung ein "unsichtbarer Killer", der die Effizienz des Chips beeinflusst. Selbst Spuren von Sauerstoff (bis zu ppm) sind ausreichend, um unnötige Oxidationsreaktionen auszulösen, die zu integrierten Schaltungs- und Siliziumfehlern führen, die die Integrität der Dünnfilmstruktur beeinträchtigen und die Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit des Produkts ernsthaft beeinträchtigen.

Die Gasboard-3050-Serie mit einer niedrigen Konzentration von Sauerstoff, mit einer Mindestauflösung von 0,1 ppm, einer Messbereich von 0-10 ppm bis 100% O₂, verfügt über einen langfristig vor Ort bewährten Zirkoniumsensor, eine hervorragende Reproduzierbarkeit und hohe Geschwindigkeitsreaktionseigenschaften, die den Sauerstoffgehalt von Prozessgasen und Gerätekammern präzise überwachen können, um den Kunden dabei zu helfen, die Sauerstoffverschmutzung von der Quelle aus zu kontrollieren und eine zuverlässige Garantie für die Verbesserung der Produkteffizienz zu bieten.

3. Gewinnen Sie das Vertrauen des Marktes, die inländische Produktionskraft wird von den Hauptkunden anerkannt

MitAusgezeichnetDurch die Produktleistung und die stabile Qualitätsleistung hat das Gasüberwachungsprogramm für die Halbleiterindustrie von Quadrant Optoelectronics erfolgreich in die Lieferkette mehrerer Mainstream-Halbleiterhersteller und Ausrüstungshersteller in China eingetreten und die kontinuierliche Beschaffung von Hauptkunden mit guter Bewertung erhalten. Das Kundenfeedback bestätigt, dass die Produkte von Quadrat-Optoelektrik in Bezug auf Schlüsselindikatoren wie Stabilität und Lebensdauer das Niveau der gleichen Importprodukte erreicht haben und die inländische Alternative wirklich erreicht haben.

Zur gleichen Zeit hat Quadrant Optoelectronics aktiv an weltweiten Top-Halbleiterbranchenveranstaltungen wie SEMICON China und CSEAC Semiconductor Equipment Annual Conference teilgenommen, um über die Ausstellungsplattform mit der Industrie intensiv zu kommunizieren und den Markeneinfluss fortzusetzen, um die Innovationskraft und den Unternehmergeist chinesischer Unternehmen im Bereich der High-End-wissenschaftlichen Instrumente zu zeigen.

Mit Blick auf die neue Reise des 15. Fünfjahres sind High-End-Instrumente eng mit dem Schicksal der integrierten Schaltungsindustrie verbunden. Quadrant Optoelectronics wird sich weiterhin an die technologische Unabhängigkeit halten, eng um die nationale Strategie und die Bedürfnisse der Industrie herum, kontinuierlich die Herausforderungen der "Card Neck" im Bereich der High-End-Gasanalyse zu lösen, um innovative und zuverlässige Sensorlösungen zu entwickeln, um die chinesische Halbleiterindustrie in der Lage zu stellen, ihre Qualität zu verbessern, ihre Effizienz und ihre autonome Kontrolle zu erhöhen.