Verwandte Parameter:
Projekte | Beschreibung |
SE Auflösung | 3.0nm (30kV), Hochvakuummodus / 10nm (3kV), Hochvakuummodus |
BSE-Auflösung | 4.0nm (30kV), Niedervakuummodus |
Vergrößern | x5 ~ x300,000 |
Beschleunigte Spannung | 0.3 ~ 30 kV |
Niedriger Vakuumbereich | 6 ~ 270 Pa |
Maximale Probengröße | Durchmesser 200mm |
Probentesch | Typ I Typ II |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360o 360o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
Maximale Probenhöhe | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
Antriebstyp | Manueller Fünfachsmotorantrieb |
Lampen | Vorgepaarter Wolfram Lampdraht |
Objektiv Lichtleiste | Abnehmbare 4-Loch-Objektiv-Lichtleiste |
Waffendruck | Fixed proportional bias, manual bias und automatic 4 bias |
Detektoren | Sekundäre Elektronendetektoren Hochempfindliche Halbleiter Rückstreuung Elektronendetektoren |
Positionsanalyse | WD=10mm, TOA=35o |
Steuerung | Maus, Tastatur, Handknopf |
Automatische Anpassung | Automatische Fadensättigung, automatischer 4-Seitendruck, automatische Pistolenpaarung, automatische Strahleneinstellung, automatische Zusammenstellung, automatischer Fokus |
Detaillierte Beschreibung
1. S-3400N verfügt über leistungsstarke automatische Funktionen, einschließlich der automatischen Fadensättigung, 4-Partial-Druck, automatische Pistolenpaarung, automatische Strahleneinstellung,
Automatischer Fokus und Dispersion, automatischer Helligkeitskontrast usw.
2. Bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung von 3kV ist eine Auflösung von 10nm gewährleistet.
3. Neue 5-teilige hochempfindliche Halbleiter-Rückstreuungssonde.
4. Der Typ S-3400N II verfügt über eine fünfachsige Motortisch mit einem Neigungswinkel von bis zu -20 ~ + 90 Grad und Proben von bis zu 80 mm.
5. Analyse-Proben-Lager können EDX, WDX und EBSD gleichzeitig installiert werden.
6. Vakuumsystem mit Turbomolekularpumpen, sauber und effizient