KristallDrei-Ziel-Magnetron-Spritzer

Modell:VTC-600-3HD

Produktübersicht:

VTC-600-3HD Drei-Ziel Magnetron Spritzer istzuiNeu entwickelte Beschichtungsanlagen können zur Herstellung von einschichtigen oder mehrschichtigen ferroelektrischen Folien, leitfähigen Folien, Legierungsfilmen, Halbleiterfolien, Keramikfolien, Medienfilmen, optischen Folien, Oxidfolien, harten Folien, PTFE-Folien usw. verwendet werden. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist es nicht nur weit verbreitet, sondern hat auch die Vorteile der kleinen Größe und der einfachen Bedienung, ist es eine ideale Ausrüstung für die Vorbereitung von Materialfilm im Labor, insbesondere für die Laborforschung von Festkörperelektrolyten und OLEDs.

Hauptmerkmale:

• Vielfältige Folien, weit verbreitete Anwendungen
• Kleine Größe und einfache Bedienung
• Die Vakuumkammer, die Vakuumpumpe-Assembliermaschine ist modular gestaltet und die Steuerstromversorgung ist aufgeteilt und kann den Kaufbedarf an die tatsächlichen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden.
• Die Stromversorgung kann je nach den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers ausgewählt werden, eine Stromversorgung kann mehrere Zielpistolen steuern, oder mehrere Stromversorgungen können eine einzige Zielpistole steuern.

Magnetron Spritzkopf：

• Das Gerät verfügt über 3 Magnetron-Spritzköpfe, die alle mit einer wasserkühlten Zwischenschicht ausgestattet sind.
• Einer der Spritzköpfe ist mit der HF-Stromversorgung verbunden, hauptsächlich Spritzisolierungsziele
• Ein weiterer Spritzkopf ist an die Gleichstromversorgung angeschlossen, hauptsächlich spritzend leitfähiges Ziel
• Anforderungen an die Zielgröße: Durchmesser 50mm, Dicke 0,1-5mm (unterschiedliche Dicke aufgrund des Zielmaterials)
• Das RF-Kabel kann als Ersatz separat bestellt werden
• Die Anlage enthält einen Wasserkühler zur Kühlung des Zielkopfes

Probentasche：

• Größe: φ140mm (zuiGroße Platzierung auf 4' Basis)
• Der Probenträger ist drehbar mit einer Geschwindigkeit von: 1 - 20 U/min (einstellbar)
• ProbentaschezuiHohe Heiztemperatur von 500°C

Vakuumkammer：

• Vakuumkammer: φ300 mm x 300 mm H, aus Edelstahl
• Beobachtungsfenster: Φ100 mm
• Die Öffnung des Hohlraums mit oberer Öffnung macht es einfacher, das Ziel zu wechseln

Gasstromregler：

• Innerhalb des Geräts sind 2 Massenflussmessgeräte mit einem Messbereich von 0-100sccm installiert.
• Die Gasflusseinstellung kann auf einem 6-Zoll-Touchscreen betrieben werden
• Der Betrieb dieses Systems erfordert Ar-Gas und ein Druckdämpfungsventil auf der Zylinder (nicht im Gerät enthalten)

Vakuumsystem：

• Ausgestattet mit einem Molekularpumpensystem GZK-103D (Made in Germany)
• Standard 5E-5mbar Grenze 7.4E-6mbar

Filmdickenmessung：

• Ein präzises Quartz-Vibrationsfilm-Dickenmesser, das auf dem Gerät installiert ist, ermöglicht die Echtzeitüberwachung der Dicke des Films mit einer Auflösung von 0,10 Å
• Die LED-Anzeige zeigt und gibt gleichzeitig die entsprechenden Daten für den hergestellten Film ein

Produktgröße：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Nettogewicht: 160 kg

KristallDrei-Ziel-Magnetron-Spritzer

Modell:VTC-600-3HD

Qualitätszertifizierung:CE-Zertifizierung

Tipps verwenden：

• Dieses Gerät ist ein DIY-Gerät, die Parameter ändern sich vor dem Kauf bitte sorgfältig telefonieren
• Um eine bessere Filmqualität zu erzielen, muss ein hochreines Gas zugeführt werden (empfohlen > 5N)
• Stellen Sie vor der Beschichtung sicher, dass der Spritzkopf, das Ziel, die Substrate und der Probentesch sauber sind
• Um eine gute Verbindung zwischen Film und Substrat zu erreichen, reinigen Sie die Substratoberfläche vor dem Spritzen
• Ultraschallreinigung (Detaillierte Parameter klicken Sie auf das Bild unten): (1) Aceton-Ultraschall (2) Isopropanol-Ultraschall - Entfernung von Fett (3) Stickstoff blasen Trocknen (4) Vakuumofen Entfernung von Feuchtigkeit.
• Plasmareinigung: Die Oberfläche kann rau werden, die chemische Bindung der Oberfläche aktiviert und zusätzliche Schadstoffe entfernt werden.
• Herstellung einer dünnen Pufferschicht (ca. 5 nm): wie Gr, Ti, Mo, Ta, kann zur Verbesserung der Haftung von Metallen und Legierungen angewendet werden.

Warnung：

• Hinweis: Hochspannungskomponenten sind im Inneren des Produkts installiert, es ist verboten, privat zu demontieren, elektrisch geladene mobile Körper
• Auf der Zylinder sollte ein Druckdämpfungsventil installiert werden (Ausrüstungsstandard ist nicht enthalten), um sicherzustellen, dass der Ausgangsdruck des Gases auf 0,02 MPa begrenzt ist.Im Folgenden zur sicheren Verwendung
• Der Spritzkopf ist an eine hohe Spannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener das Ziel vor dem Ausschalten des Geräts probieren und austauschen.