Das CVD-System besteht aus dem Gasversorgungssystem + dem Rohrofen + dem Pumpsystem, die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad, 1700 Grad erreichen, der Heizungsbereich kann eine Temperaturzone, eine Doppeltemperaturzone, eine Dreitemperaturzone usw. sein, das Endvakuum kann 10-3Pa erreichen, das Gasversorgungssystem ist die Durchflussregelung kann ein Protonenflussmesser oder ein Schwimmendes Durchflussmesser sein, die Anzahl der Mischwege kann 2, 3, 4, 5 Phasen sein.
Das KTL-CVD-1400 Single Temperaturzone CVD System besteht aus einem 3-Wege-Gasversorgungssystem + KTL1400 Rohröfen + Vakuumsystem.
(1), Silizium-Molybdenum-Stab heißes Ende Dicke D1 ist 7mm, allgemeine Hersteller verwendet 6MM, heißes Ende dick, nicht leicht zu biegen, die Oberflächenlast der Stab ist niedrig, lange Lebensdauer.
(2) Die Heißbiegetechnologie, der gleichmäßige Widerstand und die lange Lebensdauer
(3), Lu kalte End Länge ist 210 mm, 400X300X300 Ofen ist 260, allgemeine Hersteller verwenden 180 mm, kalte End lange Ofen Oberfläche Temperatur ist niedrig.
(4), Silizium-Molybdenum-Stäbe Oberfläche Oxidation nicht-kristalline Folie dicht, kann Silizium-Molybdenum-Stäbe besser schützen.
Wenn die Schaltung überstromt oder leckt, wird die Leeröffnung automatisch getrennt
Der AtmosphärenofenKannAusgestattet mit Kommunikationsschnittstelle und Software, kann man die verschiedenen Parameter des Ofens direkt über den Computer steuern, und kann den Betrieb der PV- und SV-Temperaturwerte und -messgeräte auf dem Ofen vom Computer beobachten, der Computer der tatsächlichen Erwärmungskurve des Ofens wird in Echtzeit gezeichnet und kann die Temperaturdaten jedes Moments speichern, kann jederzeit ausgerufen werden.
(1) Hochwertige Polykristalline Aluminiumoxidfaserhärtungsofen für Vakuumfilterung.
(2) Einführung japanischer Technologie.
(3), niedrige Wärmekapazität des Ofenmaterials, niedrige Wärmeleitfähigkeit, wodurch weniger Wärmeabkühlung, gute Isolation und hohe Reflexivität. Temperaturgleichgewicht.
(4), der Ofen Aluminiumoxid-Draht ist dünn und lang, hohe Temperaturbeständigkeit, starke Wärmeerhöhung und Kühlkapazität
(5) Die Oberfläche des Ofens ist sauber und nicht leicht zu pulverieren.
(Alle importierten Geräte sind UL zertifiziert)