Die Definition der optischen Mikroelektronik Reinigungstechnik ist die Beseitigung von Mikrostaubpartikeln, schädlicher Luft, Bakterien und anderen Schadstoffen in der Luft innerhalb eines bestimmten Raumbereichs und die Kontrolle der Innentemperatur, der Luftfeuchtigkeit, der Sauberkeit, des Innendrucks, der Luftströmungsgeschwindigkeit und der Luftströmungsverteilung, der Lärmvibration und der Beleuchtung, der statischen Elektrizität in einem bestimmten Bedarfsbereich, der speziell entwickelten geschlossenen Raum ist.
Optische Mikroelektronikreinigungstechnik, auch als Staubfreier Raum oder Reinraum bezeichnet, ist derzeit eine wichtige Einrichtung für Halbleiter-, Präzisionsfertigung, Flüssigkristallherstellung, optische Fertigung, Leiterplattenherstellung und Biochemie, Medizin, Lebensmittelherstellung und andere Industrien. In den letzten Jahren ist aufgrund der innovativen Entwicklung der Technologie die Nachfrage nach hoher Präzision und Miniaturisierung von Produkten dringender, wie die Forschung und Fertigung von übergroßen integrierten Schaltkreisen, die in allen Ländern der Welt ein Projekt in der wissenschaftlichen und technologischen Entwicklung mit hohem Wert geworden sind, und die Designphilosophie und die Bautechnologie unseres Unternehmens sind in der Branche führend.
Optische Mikroelektronikreinigungstechnik umfasst in der Regel:
1. Saubere Produktionsgebiete
2, saubere Hilfsräume (einschließlich Personalreinigungsräume, Materialreinigungsräume und teilweise Wohnzimmer usw.)
Verwaltungsbereich (einschließlich Büro, Dienst, Verwaltung und Ruhe usw.)
4, Ausrüstungsbereich (einschließlich der Anwendung von Reinigungsklimatisierungssystemen, elektrischer Raum, hochreines Wasser und hochreines Gas, kalte und wärmere Ausrüstung)
Reinigungsprinzip der optischen Mikroelektronikreinigungstechnik
Luftstrom → Erstreinigung → Klimaanlage → Mittelreinigung → Ventilatorzufuhr → Rohrleitung → Effiziente Reinigung der Luftöffnung → Einblasen in den Raum → Entfernen von Staubbakterien
Andere Partikel → Rückventilationspersiane → Erste Reinigung Wiederholen Sie den obigen Prozess, um den Reinigungszweck zu erreichen.
Reinigungsparameter für optische Mikroelektronikreinigungstechnik
Luftwechsel: 100.000 Grad ≥ 15 Mal; 10.000 Grad ≥20 mal; 1000 bis 30 Mal. Druckdifferenz: Hauptwerkstatt gegenüber benachbarten Räumen ≥5Pa
Durchschnittliche Windgeschwindigkeit: 10 Grad, 100 Grad 0,3-0,5 m / s; Temperatur im Winter > 16°C; im Sommer 26°C; Schwankungen von ±2°C.
Temperatur von 45-65%; GMP Pulver Werkstatt Feuchtigkeit von etwa 50% ist geeignet; Die Feuchtigkeit in der Elektronikwerkstatt ist etwas höher, um eine statische Stromerzeugung zu vermeiden.
Geräusche ≤65dB (A); Die Nachfüllung der frischen Luft beträgt 10-30% der Gesamtluftmenge; Beleuchtung 300LX.